SG221 - 上海华川松半导体科技有限公司
上海华川松半导体科技有限公司

研磨系统

超精密半导体抛光解决方案的新标准

SG221

晶圆背面研磨机 [ 单杯型 ] 半自动晶圆研磨机

特点

型号：SG221
  • 适用于 6 至 8 英寸
  • 空气轴承主轴
  • 上主轴最高转速：4,000 rpm
  • 下主轴最高转速：300 rpm
  • 基本配置
  • 可选配置
  • - 修整板单元（内置）
    •





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