SCB-20L - 上海华川松半导体科技有限公司
上海华川松半导体科技有限公司

配套设备

定制专用设备以完成半导体工艺

SCB-20L

超纯水防静电装置（二氧化碳鼓泡器）

特点

型号：SCB-20L
  • 电阻率范围：0.02~2.00 ㏁㎝
  • 使用流体：去离子水，二氧化碳气体
  • 使用温度：20~30 ℃
  • 去离子水流量：2~20ℓ/分钟
  • 去离子水压力：0.10~0.30 ㎫
  • 二氧化碳压力：0.5~1.5 ㎫
  • 二氧化碳纯度：99% 以上
  • 电源：AC 100V，1P，50~60Hz
  • 尺寸：500 × 820 × 1380(H)（单位默认毫米，若需明确可补充标注）
  • 重量：70 kg
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